Agilent B1500A 半导体器件分析仪是一款具有十槽配置的模块化仪器，支持 IV 和 CV 测量以及快速高压脉冲。其熟悉的 Microsoft ® Windows ® 用户界面支持安捷伦的 EasyEXPERT 软件，该软件提供了一种新的、更直观的面向任务的设备表征方法。由于具有极低电流、低电压和集成电容测量能力，Agilent B1500A 可用于广泛的半导体器件表征需求（IC-CAP 支持 B1500A）。它也是非易失性存储单元表征和高速器件表征（包括高级 NBTI 测量）的出色解决方案。
测量功能包括单通道和多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态 CV（使用 SMU）、HV-SPGU 的直接控制和任意线性波形生成 (ALWG) GUI。
可选的基于定位器的 CV-IV 开关解决方案具有 0.5 µV 电压测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 电流测量分辨率能力
通过内置半自动晶圆探针驱动器和测试序列轻松实现测试自动化，无需通过快速测试模式进行编程
可选的高压半导体脉冲发生器单元 (HV-SPGU) 具有 10 ns 可编程脉冲宽度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）输出。
可选的波形发生器/快速测量单元 (WGFMU) 具有 ALWG 和快速电流或电压测量功能。
10 ns 脉冲 IV 解决方案可用于表征高 k 栅极电介质和 SOI（绝缘体上硅）晶体管。
经典测试模式可用于提供 4155/4156 界面的外观、感觉和术语，同时通过充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 功能增强用户交互
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